Etude de la fiabilité d'un microcapteur anemometrique en technologie MEMS

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dc.contributor.authorSidi Said, Amel
dc.date.accessioned2017-03-29T11:00:56Z
dc.date.available2017-03-29T11:00:56Z
dc.date.issued2009-12-03
dc.description81 f. : ill. ; 30 cm. (+ CD-Rom)en
dc.identifier.citationOption : Microélectroniqueen
dc.identifier.otherMAG.ELN.64-09
dc.identifier.urihttps://dspace.ummto.dz/handle/ummto/665
dc.language.isofren
dc.publisherUniversité Mouloud Mammerien
dc.subjectMicrocapteuren
dc.subjectMicrosystèmes et fiabilité : défautsen
dc.subjectTechnologie MEMS : Technique de fabricationen
dc.subjectFiabilité de l'anémométre à fil chauden
dc.titleEtude de la fiabilité d'un microcapteur anemometrique en technologie MEMSen
dc.typeThesisen

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